英格蘭普利茅斯-2018年11月12日報道：屢獲殊榮的光電技術解決方案的領 先開發商Plessey宣布與EV Group（EVG）進行合作，EV Group是面向MEMS，納米技術和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設備的領 先供應商，將高性能的硅上氮化鎵（GaN-on-Si）單片microLED技術推向大眾市場。microLED是下一代AR應用的關鍵光學技術。

       Plessey已從EVG購買了GEMINI®生產晶圓鍵合系統，以實現Plessey在英國普利茅斯的制造工廠的鍵合和對準。這使Plessey能夠在晶圓級將其GaN-on-Si microLED陣列結合到面板的背板，并具有實現非常小的像素尺寸所需的高水平的對準精度。
       EVG的專 利SmartView®NT自動鍵對準系統技術可滿足Plessey的要求，因為它可以使晶片面對面對準，并且精度很高。GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統可實現zui高水平的自動化和過程集成。用于批量生產的300mm晶圓對晶圓對準和晶圓鍵合工藝全部在一個全自動平臺上執行。

       Plessey工程副總裁John Whiteman解釋說：“ GEMINI系統的模塊化設計非常適合我們的需求。在一個系統中啟用預處理，清潔，對齊（對準）和鍵合，這意味著擁有更高的產量和生產量。EVG提供的優質服務對于快 速有 效地使系統聯機至關重要。”

       EVG的執行技術總監Paul Lindner表示：“我們很榮幸Plessey選擇了我們蕞先進的GEMINI系統來支持其雄心勃勃的技術開發路線圖和大批量生產計劃。”

       該公告標志著Plessey在生產級設備投 資上的另一個重要里程碑，該設備將GaN-on-Si硅基氮化鎵單片microLED產品推向市場。

關于普萊西

       Plessey是英國先進光電技術解決方案的領 先開發商。該公司為各種光電器件和系統提供其獨特的專有硅上氮化鎵平臺的批量處理。
       Plessey的總部位于英國普利茅斯，擁有領 先的150mm和200mm晶圓加工設施，以進行產品的設計，測試和組裝，以及一整套完善的光子表征和應用實驗室。
       Plessey是用于顯示引擎（DMD和LCOS）和全場發射microLED顯示器的創新照明器的屢獲殊榮的提供商，這些顯示器將超高密度RGB像素陣列與高性能CMOS背板結合在一起，可產生非常高的亮度，低功耗以及用于頭戴式顯示器（HMD），增強現實（AR）和虛擬現實（VR）系統的高幀率圖像源。 

關于EVG

       EV Group（EVG）是制造半導體，微機電系統（MEMS），化合物半導體，功率器件和納米技術器件的設備和工藝解決方案的領 先供應商。主要產品包括晶圓鍵合，薄晶圓處理，光刻/納米壓印光刻（NIL）和計量設備，以及光刻膠涂布機，清洗機和工藝檢測系統。成立于1980年的EV Group服務于復雜的全球客戶和合作伙伴網絡，并為其提供支持。