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一種MEMS器件可靠性測試方法

發布時間：2020-12-31

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1. 目的
       MEMS器件可靠性測試的主要目的是測試MEMS的可靠性和使用壽命。
       MEMS傳感器和執行器是許多設備和系統中的關鍵功能元件，并且越來越多地，它們也具有與安全相關的功能。因此，它們通常必須在具有挑戰性的工作條件下，在整個系統的整個使用壽命中保持可靠并得到保證。因此，必須在這些條件下對新的MEMS組件進行驗證。真空或氣候測試室用于模擬壓力負荷或空氣濕度的影響，并施加機械激勵或輻射等刺激。長時間的功能穩定性已在加速老化測試中得到驗證。
2. 原因
       由于與常規半導體元件不同，MEMS將移動的微機械組件作為其關鍵功能元件，因此在可靠性和使用壽命測試期間，測量動態機械系統行為的能力極為重要。業內有相關的儀器為此提供了所有相關的測量模式。高度通用的測量系統還可以配備具有較大間距的特殊透鏡，以從測試室內測量靜態和動態組件的行為。
3. 應用實例
       一個實際的例子：真空室內MEMS的振動測量。

真空室內MEMS的振動測量.jpeg