電容式位移傳感器：非接觸式高分辨率近距離位移測量
 

　　美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶提供以藝術級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
 

　　電容式位移傳感器特性
 

　　1.*非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術, 無損樣品測量
 

　　2.優化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
 

　　3.高準確性，高靈敏性測量，精度可達0.5nm。
 

　　4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質對測量準確度無任何影響
 

　　5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定  位，設備自動聚焦測量(微影設備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認，LCD生產設備…)
 

　　4800系列            5800系列6800系列8800系列       6360厚度測量系統
 

　　4800系列    以至優化的線性和穩定性著稱, 一款多功能測量設備
 

　　5800系列    以高動態測量著稱--高分辨率測量，可達100Khz 帶寬測量，可靠性測量甚至達觸
 

　　地物例如氣動轉子和馬達
 

　　6800系列    擁有皮米級別噪聲分辨率
 

　　8800系列   以擁有*好的線性和穩定性系統著稱，測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率，超低
 

　　噪聲上乘的伺服定位反饋系統設計
 

　　Mini系列      迷你壓縮型傳感器測量系統
 

　　6360系列      非接觸式，高精度測量硅片、CD、DVD、光盤厚度

       圓柱型測量探頭       45°傾角測量探頭      矩型測量探頭          直角型測量探頭
 

　　圓柱型測量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
 

　　45°傾角測量探頭  可緊貼圓柱形被測物測量
 

　　矩型測量探頭  測量馬達及軸向轉動物時可提供*大分辨率
 

　　直角型測量探頭用于測量受限空間測量
 

　　設備應用
 

定位測量系統應用：遠程位置調節器的伺服反饋系統應用
 

　　間距和位移測量應用 ：空間測量及檢測  軸向位移測量
 

　　轉動測量系統應用：馬達精度和轉軸轉動測量  轉軸測量計精度校準測量  直線和平面平臺精度測量
 

　　厚度測量系統應用：磁性介質厚度測量 光盤厚度測量
 

　　自動聚焦和歸零測量應用：半導體硅片測量
 

　　振動測量系統應用：樣品臺精度振動測量 轉軸振動精度測量 主動性防震系統反饋測量
 

　　設備性能及主要參數
 

　　1.量程：       ±25μm 到±1000μm滿量程測量
 

　　2.分辨率：   優于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
 

　　3.帶寬：  1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選