特征：

• 可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜

• 白缺陷、黑缺陷的自動(dòng)判別

• 不僅是表面缺陷，內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時(shí)檢查。

• 有助于缺陷分析的4種Review圖像。

• “AI Classify”進(jìn)行缺陷分類、好壞判定。

• 免維護(hù)。

• 世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。

• 能檢出至今為止檢查不出的缺陷。

檢出缺陷：顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。

規(guī)格：

• 檢查激光：405nm 200mW LaserDiode

• 檢查時(shí)間：180sec

• 檢查對(duì)象：6英寸 Photomask blanks

• 設(shè)備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm

• 使用電源：AC100V~200V 10A